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エッチング装置(ウェット)
ダン・タクマ
SR34
2017
6インチ・8インチ シリコンウェハ洗浄エッチング処理 1カセット25枚処理全12槽(上下左右揺れ全て自動処理) 槽ローダー、エッチング、純水洗…
鹿児島県(Kagoshima)
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